在半導(dǎo)體器件的制造過程中，晶圓的檢測對保證產(chǎn)品的質(zhì)量是非常重要的。通過檢測晶圓的缺陷并進行分析，可以找到產(chǎn)生缺陷的原因，從而實現(xiàn)成品率的提高和生產(chǎn)線的穩(wěn)定運轉(zhuǎn)。目前，使用掃描電子顯微鏡檢測對晶圓進行缺陷檢查是較為常用的一種方法。

而對于掃描電子顯微鏡檢測，這類精密設(shè)備的檢測操作往往需要相當(dāng)?shù)臉?biāo)準(zhǔn)化，在使用過程中需要注意很多的東西，才能夠延長掃描電鏡的使用壽命，在操作中有哪些具體的要求呢？下面小編將詳細介紹一下，具體的要求如下：首先關(guān)于樣品的要求：需用掃描電鏡觀測的樣品，必須干燥，無揮發(fā)性，有導(dǎo)電性，能與樣品臺牢固粘結(jié)（塊狀試樣的下底部需平整，利于粘結(jié)）。對鑲嵌塊，斷面樣品等高度大的樣品，千萬不要對樣品臺平面聚焦，只能對樣品上表面聚焦。

其次，就是有關(guān)電腦的特別提醒：掃描電鏡的電腦是控制整臺掃描電鏡的，電腦的CMOS管理，顯示卡及驅(qū)動程序等與普通電腦不同，請不要當(dāng)作普通電腦來使用。禁止修改電腦的任何設(shè)置，禁止安裝任何軟件。禁止使用USB接口、U盤。使用光驅(qū)或軟驅(qū)等需經(jīng)電鏡管理人員檢查同意，嚴(yán)防病毒感染。電腦的許多指令要驅(qū)動掃描電鏡中的電氣部件或機械部件的一系列動作，時間可能較長，千萬不要連續(xù)點擊或按鍵，否則可能引起電腦死機。文件名不要超過8位，要以字母開頭。

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