電子顯微鏡原理是采用電子束為光源，照射固體材料，以電子束散射的電子為信號，主要用于對材料表面或內(nèi)部結(jié)構(gòu)形態(tài)形貌進(jìn)行高分辨成像，包括透射電子顯微鏡（TEM）、掃描透射電子顯微鏡（STEM）、掃描電子顯微鏡（SEM）。下圖包括SEM和STEM高分辨圖像。

電子顯微鏡原理是利用，對電子束進(jìn)行折射的物質(zhì)為電場或磁場，中心對稱的磁場，其成像性質(zhì)和高斯透鏡幾何光學(xué)一級近似，被稱為磁透鏡。磁透鏡可以是永磁和電磁。地球沿著南北極貫穿，可以看做一個巨大的磁透鏡，磁透鏡焦距固定；電磁透鏡通過改變線圈電流可改變透鏡磁場強(qiáng)度，從而改變透鏡焦距。

基于電子顯微鏡原理，其電子顯微成像方式TEM成像采用平行入射電子束照射樣品，后續(xù)的電磁透鏡通過同時聚焦從樣品各個像素點(diǎn)發(fā)出的不同散射方向透射電子（TE-transmission electron），從而對電子束照射區(qū)域進(jìn)行放大成像，通過調(diào)節(jié)中間的電磁透鏡焦距，可實(shí)現(xiàn)放大倍數(shù)調(diào)節(jié)，最后用投影鏡將物像照射在圖像記錄或顯示上；SEM/STEM使用匯聚電子束照射樣品 ，逐點(diǎn)掃描成像，空間分辨率和匯聚電子束束斑直徑相關(guān)，通過改變電子束掃描區(qū)域大小來改變放大倍數(shù)。

對于對觀察清晰度要求嚴(yán)格的企業(yè)，在挑選光學(xué)金相顯微鏡時就需要選擇無限遠(yuǎn)結(jié)構(gòu)的顯微鏡，初設(shè)計上觀察更加清晰，你也可進(jìn)一步咨詢電子顯微鏡原理其它相關(guān)問題，20年實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗工程師在線為您解答。