測量顯微鏡是電子光學計量儀器之一種，就是指裝有看準顯微鏡和座標操作臺的用以二維座標規格測量的電子光學計量儀器。測量顯微鏡選用透、反射面的方式對產品工件長短和視角作高精密測量。尤其適用錄像視頻磁帶機、規模性集成電路芯片圖形界限及其其他高精密零件的檢測，是一種理想化的多功能的中小型高精密測量儀器設備。顯微鏡測量方法基本上分2種，第一種：目鏡分化測量。第二種，軟件測量。

第一種：目鏡分化測量法這類測量方式是最方便快捷的，它關鍵是在顯微鏡的目鏡上邊，激光打標了，標尺線，此線是依照我國標  準打上去的。樣子基本上是十字型，隨后在十字線沖分的有方格。每列的標準尺寸是0.1MM。此方式只有測量長短。觀查的方式：調清晰所看的物件后，把要測量的物件挪動在標尺網上，隨后讀值，什么是測量顯微鏡？例如。所看的物件占有了標尺線的3方格。那麼測量的規格就是0.3MM，假如沒布滿，就必須估計。此類測量方式，精準度較為差。可是便捷。

第二種：測量顯微鏡軟件測量方式這類測量方式非常復雜一些。它是根據工業鏡頭，將圖象收集到電腦，隨后根據軟件測量。測量的方式十分的多，例如：長短 視角 園的直徑 直徑，總面積，還不規則圖形的總面積測量，內切圓的圓心點差，弦長，弧的視角等。假如專業的測量軟件，能夠全自動爬取顆粒物，全自動讀取，顆粒物數。乃至包含全自動測量作用等。還能夠將測量的主要參數以表格的方式輸出，乃至能夠隨意定制。這類軟件作用十分多，在這兒也不一一敘述了。測量的方式: 調整清晰顯微鏡后，把電腦的軟件開啟。隨后有圖象會表明在電腦上，隨后依照軟件的規格糾正流程，先把軟件糾正精確，糾正軟件的情況下是必須校準尺的，校準尺分：0.1MM。 0.01MM  1MM 3種。要依照不一樣的顯微鏡，要挑選。糾正精確之后，就簡易了。如平行線測量，點一下起止點，再點一下停止點。規格，就全自動測算出來了。這類軟件精密度，能夠做到。 0.001-0.002MM。假如高倍率得話，精密度會高些。

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